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【现在就可以!】

然后,周岩眼前突然出现了一个九阶的魔方,模仿的小格子在不停地闪烁着,最后,落到了某个小格子上。

【恭喜宿主获得纳米压印光刻(NIL)技术全套资料。】

卧槽!

周岩突然感觉有十万只神兽从眼前飞过:系统这是打算把脚盆鸡给薅秃了。

纳米压印光刻(NIL)可是号称可以媲美极紫外光刻(EUV)的技术。

虽然都是用于芯片加工的顶尖技术,可两项技术的方向并不一样。

芯片加工最重要的一环——蚀刻,是用氢氟酸在高纯度硅片上蚀刻加工半半导体元件所需要的沟槽,这一步,所有的半导体加工路线都是一样的。

而在这之前,为了保证应该被蚀刻的地方被蚀刻,需要在硅片上涂上一层保护用的光刻胶:需要蚀刻的地方,将光刻胶除掉。

而在除掉不需要保护的光刻胶时,衍生出了纳米压印光刻(NIL)和深(极)紫外光刻(dUV\/EUV)。

深紫外光刻(dUV)或者极紫外光刻(EUV)的原理是,利用凸透镜片的聚焦作用,汇聚高能光线,透过等比例雕刻了半导体元件形状的透光板(掩膜版),对光刻胶进行烧蚀“除胶”处理。

而纳米压印光刻(NIL),其实上跟光刻不沾边,它是利用电子束雕刻半导体元件的“印章”形状,然后压在柔软的光刻胶涂层上,以实现“除胶”。

与复杂的紫外光刻技术相比,纳米压印光刻不需要复杂的光源系统,也不需要加工精度达到原子价格的镜片系统,只需要精准的电子加速器就可以做到。

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